1. 全铝框架——坚固可靠

2.独特的三角形横梁截面较传统设计刚性提高25%，X向轨道重心降低50%，提高了尺寸测量稳定性和精度。

3. 采用计算机辅助设计技术，如有限元分析（FEA）和模块分析——使整机结构在偏移、震动和运动过程中保持优良特性。

4. 工作台无侧墙——方便工件装载，可无限制接近工作区进行测量。

5. 优化的弹性振动系统，具备“可变刚性”——可隔绝周围振动。

6. 高性能伺服电机及同步带驱动——保证机器的最大加速度和定位精度

7. 精密加工椭圆齿型钢丝增强同步带——减少在高速扫描情况下的震动。

8. 完善的安全与碰撞保护——避免碰撞，减少维修成本。

9. 整合温度传感器——温度变化时对误差进行补偿

10. 配有远程诊断功能——使服务停机时间大大降低。

11. 采用高分辨率光栅系统—— 系统分辨率高达0.005um, 保证了机器精准定位及高重复性

12. 可配备多测头系统（传统测头、光学非接触式测头、接触式粗糙度测头）——满足多种测量精度要求，实现其通用性。

13. XT选项——为15-30℃之间的测量提供高精度和可靠性。 

14. 高速选项——运行速度可提高到800mm/s，在进出安全区时可自动减速和加速。

MPEE:自0.7μm起